Моделирование влияния полевой и термополевой электронной эмиссии из электродов с тонкими диэлектрическими пленками на их взаимодействие с низкотемпературной газоразрядной плазмой
Ключевые слова
электронная эмиссия, низкотемпературная плазма газового разряда