Моделирование влияния полевой и термополевой электронной эмиссии из электродов с тонкими диэлектрическими пленками на их взаимодействие с низкотемпературной газоразрядной плазмой

ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)», Москва

114 стр.

Ключевые слова

электронная эмиссия, низкотемпературная плазма газового разряда

Моделирование влияния полевой и термополевой электронной эмиссии из электродов с тонкими диэлектрическими пленками на их взаимодействие с низкотемпературной газоразрядной плазмой — Мьо Ти Ха — 2021 — Российская библиотека диссертаций