Обложка работы «Модификация микроструктуры и функциональных свойств тонкопленочных материалов на основе оксида цинка с применением комплексного подхода к их синтезу». Автор: Асваров, Абил Шамсудинович. Степень: Докт. наук. Год: 2024

Модификация микроструктуры и функциональных свойств тонкопленочных материалов на основе оксида цинка с применением комплексного подхода к их синтезу

ФГБУ «Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт» ; Диссовет 02.1.003.01 (Д 520.009.01), Москва

311 стр.

Ключевые слова

тонкопленочные материалы на основе оксида цинка, магнетронное распыление, легирующие примеси, оксидная оптоэлектроника, сенсорика

Модификация микроструктуры и функциональных свойств тонкопленочных материалов на основе оксида цинка с применением комплексного подхода к их синтезу — Асваров, Абил Шамсудинович — 2024 — Российская библиотека диссертаций