Модификация микроструктуры и функциональных свойств тонкопленочных материалов на основе оксида цинка с применением комплексного подхода к их синтезу
Ключевые слова
тонкопленочные материалы на основе оксида цинка, магнетронное распыление, легирующие примеси, оксидная оптоэлектроника, сенсорика