Модификация поверхностных свойств кремния и германия при воздействии сканирующего субмикросекундного лазерного излучения

Львов

16 стр.

Модификация поверхностных свойств кремния и германия при воздействии сканирующего субмикросекундного лазерного излучения — Осередько, Сергей Александрович — 1986 — Российская библиотека диссертаций