Молекулярно-лучевая эпитаксия кремния, стимулированная ионным облучением

Нижний Новгород

327 стр.

Молекулярно-лучевая эпитаксия кремния, стимулированная ионным облучением — Шенгуров, Владимир Геннадьевич — 2002 — Российская библиотека диссертаций