Молекулярно-пучковая эпитаксия наноструктур нитрида, арсенида и фосфида галлия на кремнии

Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алферова Российской академии наук, Санкт-Петербург

122 стр.

Ключевые слова

эпитаксиальные наноструктуры на поверхности кремния

Молекулярно-пучковая эпитаксия наноструктур нитрида, арсенида и фосфида галлия на кремнии — Сапунов, Георгий Андреевич — 2021 — Российская библиотека диссертаций