Наращивание пленок β-карбида кремния на подложках кремния и исследование их физических свойств

Отд-ние физ.-техн. наук АН ЛатвССР, Рига

113 стр.

Наращивание пленок β-карбида кремния на подложках кремния и исследование их физических свойств — Неймане, Инара Петровна — 1972 — Российская библиотека диссертаций