Научно-технические основы разработки оптических, оптоэлектронных и микроэлектронных приборов, базирующихся на использовании тонкопленочных трехмерных структур

Новосибирск

47 стр.

Ключевые слова

оптические приборы

Научно-технические основы разработки оптических, оптоэлектронных и микроэлектронных приборов, базирующихся на использовании тонкопленочных трехмерных структур — Чесноков, Владимир Владимирович — 1995 — Российская библиотека диссертаций