Научные основы энергетического мониторинга системы кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений микроэлектроники

ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники», Москва

288 стр.

Научные основы энергетического мониторинга системы кондиционирования и фильтрации воздуха чистых помещений микроэлектроники — Рябышенков, Андрей Сергеевич — 2018 — Российская библиотека диссертаций