Научные основы методов контроля высокочистых веществ и безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур

Москва

381 стр.

Научные основы методов контроля высокочистых веществ и безотходных технологий очистки поверхности полупроводниковых структур — Хаханина, Татьяна Ивановна — 2002 — Российская библиотека диссертаций