Некоторые физико-химические методы воздействия на электрофизические свойства поверхности германия, кремния и кремниевых полупроводниковых приборов

  • 01.00.00 Физика и математика

АН СССР. Ин-т физ. химии, Москва

131 стр.

Некоторые физико-химические методы воздействия на электрофизические свойства поверхности германия, кремния и кремниевых полупроводниковых приборов — Смирнов, Геннадий Владимирович — 1967 — Российская библиотека диссертаций