Некоторые вопросы взаимодействия ионизированных газов с поверхностью кремния

  • 05.00.00 Техника

Воронеж. политехн. ин-т, Каунас

133 стр.

Некоторые вопросы взаимодействия ионизированных газов с поверхностью кремния — Грицюс, Альгирдас Аугустович — 1972 — Российская библиотека диссертаций