Новые способы получения монокристаллических слоев кремния на неориентирующих диэлектрических подложках
Клименко, Э. А., 1971, кандидатская диссертация
Новосибирск
15 стр.
Новые способы получения монокристаллических слоев кремния на неориентирующих диэлектрических подложках — Клименко, Э. А. — 1971 — Российская библиотека диссертаций