Оперативное управление участком наращивания в производстве кремниевых однослойных эпитаксиальных структур

Московский институт стали и сплавов, Москва

16 стр.

Оперативное управление участком наращивания в производстве кремниевых однослойных эпитаксиальных структур — Баженов, Евгений Васильевич — 1986 — Российская библиотека диссертаций