Осаждение диэлектрических пленок методом динамической плазменной обработки с целью применения в электронной технике

Москва

221 стр.

Осаждение диэлектрических пленок методом динамической плазменной обработки с целью применения в электронной технике — Цветкова, Юлия Владимировна — 1991 — Российская библиотека диссертаций