Осаждение пленок металлов и диэлектриков из низкотемпературной плазмы и ионных пучков

  • 05.00.00 Техника

АН СССР. Ин-т металлургии им. А. А. Байкова, Москва

168 стр.

Осаждение пленок металлов и диэлектриков из низкотемпературной плазмы и ионных пучков — Фолманис, Гундар Эдуардович — 1970 — Российская библиотека диссертаций