Основы расчета параметров и создание автоматизированного многомерного вакуумного оборудования непрерывного действия с магнетронными системами распыления для производства СБИС

Другие работы по этой специальности

1. Методы и средства автоматизации разработки электронных образовательных ресурсов для вариативного изучения физики

   Чирцов, Александр Сергеевич · 2014 · Докт. наук · Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики

   • 05.13.07
2. Система управления процессом обжига кирпича в туннельной печи

   Ярощук, Ирина Викторовна · 2002 · Канд. наук

   • 05.13.07
3. Повышение производительности автоматических линий из бесцентровых круглошлифовальных станков с широкими кругами за счет автоматизации правки

   Ашкиназий, Яков Михайлович · 2000 · Канд. наук

   • 05.13.07
4. Оптимизация управления электромеханическими системами и подвижными объектами

   Яковенко, Павел Георгиевич · 2000 · Докт. наук

   • 05.13.07
5. Разработка метода спектральных плотностей для синтеза систем управления с дискретным запаздывающим контролем

   Кадыров, Энвер Джумагелдиевич · 2000 · Канд. наук

   • 05.13.07