Обложка работы «Особенности формирования реальной структуры эпитаксиальных CVD-пленок алмаза с природным и модифицированным изотопным составом». Автор: Романов, Даниил Алексеевич. Степень: Канд. наук. Год: 2021

Особенности формирования реальной структуры эпитаксиальных CVD-пленок алмаза с природным и модифицированным изотопным составом

ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)», Москва

100 стр.

Ключевые слова

эпитаксиальные пленки алмаза, осаждение из газовой фазы

Особенности формирования реальной структуры эпитаксиальных CVD-пленок алмаза с природным и модифицированным изотопным составом — Романов, Даниил Алексеевич — 2021 — Российская библиотека диссертаций