Особенности формирования вторичных дефектов структуры в ионно-имплантационных слоях (001) кремния при термообработке

Минск

167 стр.

Особенности формирования вторичных дефектов структуры в ионно-имплантационных слоях (001) кремния при термообработке — Ширяев, Сергей Юрьевич — 1983 — Российская библиотека диссертаций