Особенности структуры тонких пленок SiC, формируемых методом импульсного лазерного осаждения на подложках Si и Al2O3

Научно-исследовательский физико-химический институт им. Л.Я. Карпова, Москва

158 стр.

Особенности структуры тонких пленок SiC, формируемых методом импульсного лазерного осаждения на подложках Si и Al2O3 — Рындя, Сергей Михайлович — 2014 — Российская библиотека диссертаций