Остаточная адсорбция примесей золота и меди и способы ее устранения в процессе травления и отмывки кремния

Другие работы по этой специальности

1. Влияние невесомости на процессы кристаллизации полупроводниковых материалов из жидкой фазы на примере германия и некоторых соединений АˈˈˈВˇ

   Татаринов, Виктор Алексеевич · 1984 · Канд. наук

   • 05.17.16
2. Технология получения анодных оксидных пленок полупроводниковых соединений для целей электронной техники

   Цветков, Дмитрий Владимирович · 1984 · Канд. наук

   • 05.17.16
3. Разработка и исследование электрохимических методов обработки поверхности полупроводников сложного состава

   Сосновских, Юрий Николаевич · 1983 · Канд. наук

   • 05.17.16
4. Выращивание и исследование кристаллов смешанных гранатов

   Шабалтай, Александр Александрович · 1982

   • 05.17.16
5. Технология выращивания монокристаллов полупроводниковых соединений типа A''B?' для лазеров с электронным возбуждением

   Шапкин, Петр Васильевич · 1982

   • 05.17.16