Перекристаллизация пленок кремния в слоистых структурах в условиях наносекундного лазерного воздействия

Новосибирск

215 стр.

Перекристаллизация пленок кремния в слоистых структурах в условиях наносекундного лазерного воздействия — Манжосов, Юрий Александрович — 1992 — Российская библиотека диссертаций