Первичные структурные нарушения, распыление и десорбция при облучении поверхности монокристаллов и нанокластеров низкоэнергетическими атомарными частицами и многоатомными кластерами

Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Санкт-Петербург

193 стр.

Ключевые слова

облучение, металлические наноматериалы, полупроводниковые наноматериалы, модификация поверхности, нанообработка поверхности, кремний, кремний, карбид

Первичные структурные нарушения, распыление и десорбция при облучении поверхности монокристаллов и нанокластеров низкоэнергетическими атомарными частицами и многоатомными кластерами — Журкин, Евгений Евгеньевич — 2012 — Российская библиотека диссертаций