Первичные структурные нарушения, распыление и десорбция при облучении поверхности монокристаллов и нанокластеров низкоэнергетическими атомарными частицами и многоатомными кластерами
Ключевые слова
облучение, металлические наноматериалы, полупроводниковые наноматериалы, модификация поверхности, нанообработка поверхности, кремний, кремний, карбид