Обложка работы «Плазменные источники распыляющих ионов на основе открытых разрядов низкого давления в магнитном поле с холодным катодом». Автор: Шулунов, Вячеслав Рубинович. Степень: Канд. наук. Год: 2002

Плазменные источники распыляющих ионов на основе открытых разрядов низкого давления в магнитном поле с холодным катодом

Улан-Удэ

127 стр.

Плазменные источники распыляющих ионов на основе открытых разрядов низкого давления в магнитном поле с холодным катодом — Шулунов, Вячеслав Рубинович — 2002 — Российская библиотека диссертаций