Обложка работы «Плазмохимический синтез пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния из кремнийорганических соединений в смесях с азотом и кислородом». Автор: Плеханов, Александр Георгиевич. Степень: Канд. наук. Год: 2017

Плазмохимический синтез пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния из кремнийорганических соединений в смесях с азотом и кислородом

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск

127 стр.

Плазмохимический синтез пленок гидрогенизированного оксикарбонитрида кремния из кремнийорганических соединений в смесях с азотом и кислородом — Плеханов, Александр Георгиевич — 2017 — Российская библиотека диссертаций