Плазмохимическое осаждение из газовой фазы и свойства наностенок гексагонального нитрида бора

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск

138 стр.

Ключевые слова

наностенки гексагонального нитрида бора, плазмохимическое осаждение

Плазмохимическое осаждение из газовой фазы и свойства наностенок гексагонального нитрида бора — Меренков, Иван Сергеевич — 2018 — Российская библиотека диссертаций