Пленки SiCxNy : Fe : синтез из газовой фазы, структура и функциональные свойства

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск

128 стр.

Ключевые слова

химическое осаждение из газовой фазы, аморфные ферромагнитные полупроводники

Пленки SiCxNy : Fe : синтез из газовой фазы, структура и функциональные свойства — Пушкарев, Роман Владимирович — 2018 — Российская библиотека диссертаций