Получение функциональных покрытий на основе силицида, нитрида и карбида тантала методом магнетронного распыления керамических мишеней

ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский технологический университет «МИСИС» ; Диссовет ДС НИТУ МИСИС от 20.04.2023, Москва

143 стр.