Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов

  • 05.00.00 Техника

Моск. ин-т стали и сплавов, Москва

167 стр.

Получение кремниевых автоэпитаксиальных слоев для силовых полупроводниковых приборов — Тихонов, Юрий Николаевич — 1967 — Российская библиотека диссертаций