Получение особо чистых триметилалкоксисиланов для микроэлектроники

Другие работы по этой специальности

1. Разработка физико-химических основ применения конструкционных фторполимеров в технологии высокочистых травителей

   Ярошенко, Адина Михайловна · 1997 · Докт. наук

   • 02.00.19
2. Моделирование и оптимизация процессов изотермической кристаллизационной очистки

   Родикова, Татьяна Юрьевна · 1997 · Канд. наук

   • 02.00.19
3. Анализ высокочистых летучих веществ на примесь воды методом адсорбционной диодно-лазерной ИК-спектроскопии

   Хоршев, Владимир Авенирович · 1995 · Канд. наук

   • 02.00.19
4. Компьютерный анализ перспективных проектов в технологии химических реактивов и особо чистых веществ

   Трефилов, Антон Владимирович · 1995 · Канд. наук

   • 02.00.19
5. Примесный состав высокочистых веществ

   Яньков, С. В. · 1994 · Докт. наук

   • 02.00.19