Повышение энергоэффективности систем подготовки и распределения воздуха чистых помещений

Санкт-Петербургский государственный архитектурно-строительный университет, Ставрополь

165 стр.

Ключевые слова

чистые производственные помещения, полупроводниковая промышленность

Повышение энергоэффективности систем подготовки и распределения воздуха чистых помещений — Черняков, Евгений Вадимович — 2014 — Российская библиотека диссертаций