Повышение точности обработки пластин кремния диаметром 150 мм на операциях доводки и полирования в условиях серийногопроизводства

Москва

195 стр.

Повышение точности обработки пластин кремния диаметром 150 мм на операциях доводки и полирования в условиях серийногопроизводства — Шульга, В. Г — 1995 — Российская библиотека диссертаций