Повышение точности обработки пластин кремния диаметром 150 мм на операциях доводки и полирования в условиях серийного производства
Шульга, Владимир Григорьевич, 1995, кандидатская диссертация
Москва
16 стр.
Ключевые слова
кремний в интегральных схемах
Другие работы по этой специальности
- Волоконно-оптические информационно-измерительные системы параметров жидкостных потоков
Шачнева, Елена Андреевна · 2021 · Канд. наук · ФГБОУ ВО «Пензенский государственный университет»
- Разработка конструкторско-технологических методов и средств обеспечения производства приборов для нелинейных преобразований микроволновых радиосигналов
Мешков, Сергей Анатольевич · 2020 · Докт. наук · ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)»
- Разработка и исследование способа предотвращения дефектов на операции сверления отверстий при изготовлении печатных плат
Зве Маунг Маунг · 2019 · Канд. наук · ФГБОУ ВО «Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)»
- Разработка технологии изготовления фотодиэлектрического чувствительного элемента ультрафиолетового излучения на основе оксида цинка
Шашин, Дмитрий Евгеньевич · 2019 · Канд. наук · ФГБОУ ВО «Казанский национальный исследовательский технический университет им. А.Н. Туполева - КАИ»
- Исследование и разработка технологии изготовления сферического растрового экрана проецирования для имитационного стенда
Шмигельский, Илья Юрьевич · 2016 · Канд. наук · Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики