Применение математических моделей для выбора оптимальных параметров управления технологическим процессом постимплантационного отжига полупроводниковых структур : На прим. InSb

  • 05.13.16

Москва

101 стр.

Ключевые слова

технологические процессы, полупроводниковые структуры

Применение математических моделей для выбора оптимальных параметров управления технологическим процессом постимплантационного отжига полупроводниковых структур : На прим. InSb — Науменко, Эльвира Вячеславовна — 1997 — Российская библиотека диссертаций