Примесное термооксидирование кремния и арсенида галлия

Институт общей и неорганической химии им. Н. С. Курнакова АН СССР (Москва), Москва

49 стр.

Примесное термооксидирование кремния и арсенида галлия — Миттова, Ирина Яковлевна — 1988 — Российская библиотека диссертаций