Процесс формирования субмикронного рисунка методом проекционной фотолитографии для изготовления СБИС ЗУ на ЦМД

Москва

165 стр.

Процесс формирования субмикронного рисунка методом проекционной фотолитографии для изготовления СБИС ЗУ на ЦМД — Островерх, В. А. — 1993 — Российская библиотека диссертаций