Процесс формирования субмикронного рисунка методом проекционной фотолитографии для изготовления СБИС ЗУ на ЦМД
Островерх, В. А., 1993, кандидатская диссертация
Москва
165 стр.
Другие работы по этой специальности
- Разработка и исследование схемотехнических SPICE-моделей MOSFET и JFET-транзисторов с учетом тепловых эффектов
Исмаил-Заде, Мамед Рашидович · 2022 · Канд. наук · ФГАОУ ВО «Национальный исследовательский университет «Высшая школа экономики»