Процессы образования и структура алмазоподобных пленок углерода, осажденных из пучка ионов низких энергий

Харьков

16 стр.

Ключевые слова

алмазоподобные пленки

Процессы образования и структура алмазоподобных пленок углерода, осажденных из пучка ионов низких энергий — Семенов, Александр Владимирович — 1986 — Российская библиотека диссертаций