Прямой элементный анализ фтор- и кислородсодержащих монокристаллов на основе времяпролетной масс-спектрометрии с импульсным тлеющим разрядом
Ключевые слова
определение фтора и кислорода в твердотельных материалах, масс-сперктрометрия с импульсным тлеющим разрядом