Радиационное повреждение кремния низкоэнергетическими ионами гелия

Дубна

19 стр.

Радиационное повреждение кремния низкоэнергетическими ионами гелия — Сохацкий, Александр Станиславович — 2002 — Российская библиотека диссертаций