Разработка элементов технологии процесса интенсивного карботермического восстановления кремния

  • 05.16.03

Иркутск

152 стр.

Разработка элементов технологии процесса интенсивного карботермического восстановления кремния — Черных, Александр Евгеньевич — 1990 — Российская библиотека диссертаций