Разработка фотолитографического метода производства кремниевых приборов

  • 05.00.00 Техника

Ленингр. электротехн. ин-т им. В. И. Ульянова (Ленина), Москва

255 стр.

Разработка фотолитографического метода производства кремниевых приборов — Пресс, Феликс Павлович — 1963 — Российская библиотека диссертаций