Разработка и исследование метода интерферометрического контроля микрокомпонентов радиоэлектронной аппаратуры

Санкт-Петербург

197 стр.

Разработка и исследование метода интерферометрического контроля микрокомпонентов радиоэлектронной аппаратуры — Федоров, Игорь Владимирович — 1997 — Российская библиотека диссертаций