Разработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии

Москва

15 стр.

Разработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии — Истомина, Наталья Леонидовна — 1995 — Российская библиотека диссертаций