Разработка и исследование системы управления электроннолучевой обработкой материалов при изготовлении микросхем ("Киев-67")

  • 05.00.00 Техника

Ин-т кибернетики АН УССР, Киев

204 стр.

Разработка и исследование системы управления электроннолучевой обработкой материалов при изготовлении микросхем ("Киев-67") — Макаров, Генрих Тимофеевич — 1969 — Российская библиотека диссертаций