Разработка и исследование технических средств автоматического управления температурой подложек при производстве ИМС

  • 05.13.07

Москва

239 стр.

Разработка и исследование технических средств автоматического управления температурой подложек при производстве ИМС — Кононов, Владислав Юрьевич — 1993 — Российская библиотека диссертаций