Разработка и исследование замкнутых термических испарителей дискретного действия для автоматизированного вакуумного напыления пленок

  • 05.00.00 Техника

Сиб. отд-ние АН СССР, Новосибирск

144 стр.

Разработка и исследование замкнутых термических испарителей дискретного действия для автоматизированного вакуумного напыления пленок — Черепов, Евгений Иванович — 1968 — Российская библиотека диссертаций