Разработка ионно-плазменных покрытий на основе нитридов и карбидов переходных металлов с регулируемой стехиометрией

  • 05.02.01

Москва

259 стр.

Разработка ионно-плазменных покрытий на основе нитридов и карбидов переходных металлов с регулируемой стехиометрией — Сайдахмедов, Равшан Халходжаевич — 2002 — Российская библиотека диссертаций