Разработка ионно-стимулируемого процесса получения пленок аморфного водорода и хлорсодержащего кремния в высокочастотном разряде : специальность № 05.27.06 - "Технология полупроводников и материалов электронной техники"
Ключевые слова
плазмохимическое осаждение пленок