Разработка конструкций и методики расчета управляемых вакуумных схватов для автоматизации производства полупроводниковых приборов

  • 05.13.07

МВТУ имени Н. Э. Баумана, Москва

14 стр.

Разработка конструкций и методики расчета управляемых вакуумных схватов для автоматизации производства полупроводниковых приборов — Батагова, Елена Борисовна — 1986 — Российская библиотека диссертаций