Разработка масс-спектрометрического метода послойного анализа полупроводниковых пленок

  • 05.00.00 Техника

Ин-т геохимии и аналит. химии им. В. И. Вернадского, Москва

170 стр.

Разработка масс-спектрометрического метода послойного анализа полупроводниковых пленок — Рамендик, Григорий Иосифович — 1970 — Российская библиотека диссертаций