Разработка математической модели и алгоритма оптимального управления процессом эпитаксиального наращивания пленок кремния : автореферат дис. … кандидата технических наук : специальность
Шапкарина, Галина Григорьевна, 1987, кандидатская диссертация
Чирцов, Александр Сергеевич · 2014 · Докт. наук · Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики
Разработка математической модели и алгоритма оптимального управления процессом эпитаксиального наращивания пленок кремния : автореферат дис. … кандидата технических наук : специальность — Шапкарина, Галина Григорьевна — 1987 — Российская библиотека диссертаций