Разработка математической модели и алгоритма оптимального управления процессом эпитаксиального наращивания пленок кремния : автореферат дис. … кандидата технических наук : специальность

  • 05.13.07

Москва

21 стр.

Разработка математической модели и алгоритма оптимального управления процессом эпитаксиального наращивания пленок кремния : автореферат дис. … кандидата технических наук : специальность — Шапкарина, Галина Григорьевна — 1987 — Российская библиотека диссертаций